由于晶圓生產(chǎn)的極高附加值，半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)中發(fā)揮著越來(lái)越突出的作用。2020年，中國(guó)半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到176億元。隨著中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，中國(guó)半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)將接近400億元。
1、檢測(cè)在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中意義重大
從設(shè)計(jì)驗(yàn)證到最終測(cè)試，半導(dǎo)體檢驗(yàn)是必不可少的，它貫穿于整個(gè)半導(dǎo)體制造過(guò)程。半導(dǎo)體檢驗(yàn)包括設(shè)計(jì)驗(yàn)證、過(guò)程控制檢驗(yàn)、晶圓測(cè)試(CP測(cè)試)和成品測(cè)試(FT測(cè)試)。
根據(jù)電子系統(tǒng)故障檢測(cè)中的“十倍法則”，如果在芯片測(cè)試中沒(méi)有發(fā)現(xiàn)芯片中的故障，那么在電路板(PCB)級(jí)發(fā)現(xiàn)故障的成本是在芯片級(jí)的十倍。因此，檢測(cè)在半導(dǎo)體行業(yè)中發(fā)揮著重要的作用，其地位日益突出。
2、半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備種類多
根據(jù)半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的廣義分類，可以分為前置測(cè)量(也稱為半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備)和后置測(cè)試(也稱為半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備)。前道量檢測(cè)主要用于晶圓加工環(huán)節(jié)，目的是檢查晶圓產(chǎn)品的工藝參數(shù)是否滿足設(shè)計(jì)要求，或者在每次制造工藝后是否存在影響成品率的缺陷。屬于實(shí)物檢驗(yàn)；半導(dǎo)體后測(cè)試設(shè)備主要用于晶圓加工后，在封裝測(cè)試中，以檢查芯片的性能是否符合要求為目的，屬于電學(xué)性能的檢測(cè)。
前檢查設(shè)備包括測(cè)量和缺陷檢查。測(cè)量包括橢偏儀四探針、原子力顯微鏡、熱波系統(tǒng)和相干檢測(cè)顯微鏡，缺陷檢測(cè)包括光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡。后者檢測(cè)設(shè)備主要包括分選機(jī)、試驗(yàn)機(jī)和探針站。
3、到2020年，中國(guó)半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到176億元
2016年至2018年，全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模波動(dòng)增大。2018年，全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)達(dá)到645.5億美元，比2017年增長(zhǎng)34.85%；2019年，全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模下降至僅594億美元。根據(jù)SEMI的預(yù)測(cè)，2020年全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額將比2019年增長(zhǎng)16%，達(dá)到689億美元。
中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模與全球市場(chǎng)相似。2019年，中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為129.1億美元(約865億元人民幣)，略低于2018年。然而，中國(guó)大陸的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)在全球市場(chǎng)中所占的比例一直在增加。
初步推測(cè)2020年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模將恢復(fù)增長(zhǎng)，約為155億美元(約1037億元人民幣)，約占全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的22%。據(jù)統(tǒng)計(jì)，中國(guó)半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備約占整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的17%?？梢酝茢?，2019年中國(guó)半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模約為147億元，2020年約為176億元。
4、市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)接近400億元
隨著我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，測(cè)試設(shè)備作為提高過(guò)程控制成品率、提高效率、降低成本的重要測(cè)試工具，將在未來(lái)的半導(dǎo)體行業(yè)中發(fā)揮越來(lái)越突出的作用。
同時(shí)，近年來(lái)，我國(guó)積極推動(dòng)尖端半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備在國(guó)內(nèi)的發(fā)展，預(yù)計(jì)未來(lái)我國(guó)的半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備將被國(guó)產(chǎn)替代。預(yù)測(cè)，2021年中國(guó)半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)預(yù)計(jì)將接近400億元。